工程為新建石巖創維工業園高科技電子廠房,位于廣東深圳市石巖創維工業園.建筑為六層、局部5層,總建筑面積為一萬七百平方米.設備樓與生產廠房相連,設備樓一層有發電機房、變壓器房.高低壓配電房,層高6.5m；二層為制冷機房,層高5.5m.廠房一層有潔凈車間、更衣室、小清洗房、大堂、鞋柜房.倉庫、空調機房、工藝用純水房等,層高6.5m,其中潔凈區面積1,760m2；二層有潔凈車間、清洗房、鞋柜房、辦公室、空調機房等,層高6.5m,其中潔凈區面積2,370m2.潔凈車間內主要有磁頭裝配生產線、清洗生產線、檢查測試生產線等.局部三層為空氣壓縮機房、倉庫等.據甲方生產工藝要求,潔凈室系統技術指標按美國聯邦209E有關規定執行.潔凈區總面積4130㎡,其中100級潔凈區面積3040㎡,1,000級潔凈區面積890㎡,10,000級潔凈區面積200㎡.
無塵室廠房的裝修工程設計的先導步驟：
作為無塵室廠房的裝修工程設計的先導步驟，工藝設計需要在滿足電子產品生產要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產設備布局，合理確定各種公用動力設施的技術參數，做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;同時，還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置，滿足電子產品無塵室廠房的裝修工程生產要求和產品生產工藝要求；此外，還應該盡可能提升生產設備的自動化水平和物料運輸的自動化水平，在經濟、實用、安全可靠的條件下提高生產效率。
生產設備的平面布局也是電子無塵室廠房的裝修工程工藝設計的重要內容。電子無塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據調查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區，潔凈生產區對潔凈度要求嚴格，而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。
二、設計參數
根據甲方生產工藝的要求及FS209E的相關規定,并參考《潔凈廠房設計規范》GBJ73－84.見表.
三、潔凈空調系統設計
1、潔凈空調換氣次數
100級：換氣次數為400次／小時（斷面風速0.36m／s）
1,000級：換氣次數為80次/小時
10,000級：換氣次數為40次／小時
100,000級：換氣次數為25次／小時
2、潔凈空冷負荷
夏季冷負荷包括圍護結構負荷、人員負荷、照明負荷、生產設備負荷、空調機組內風機負荷、新風負荷.其中,生產設備一項由甲方提供設備功率和設備的排氣量.經計算,主潔凈室面積指標1,170w／m2,清洗房面積指標1,220W／m2.
3、潔凈室的新風量和送風量
新風量綜合考慮人員衛生所需風量、生產設備排風量、維持潔凈室正壓所需風量,經計算得出.
100級潔凈室空調送風量由冷負荷和焓差經計算得出.
1,000級以下潔凈室的空調送風量除由冷負荷和焓差的計算值外,還需考慮潔凈換氣次數,取二者的最大值.之所以與100級潔凈室不同,是由于空調方式不同.
4、1O0級主潔凈室（包括清洗房）的空調方式
采用PAHU＋AHU＋FFU的空調方式,見圖3.
其中：PAHU為新風處理機組（ Primary Air Handing Unit） ；
AHU為空氣處理機組（Air Handling unit）；
FFU為帶風機的高效過濾器（Fan Filter Unit,eff.99.99％MPPS）.
系統中加PAHU,潔凈室正壓由PAHU風機馬達變頻控制,同時使室外環境的變化對潔凈室的影響減小,對潔凈室的溫、濕度控制有利.一樓主潔凈室共設PAHU 3臺,新風處理總量為30,000CMH,新風處理到低于室內空氣含濕量；AHU 5臺,空氣處理總量為394,000CMH.
二樓主潔凈室共設PAHU3臺,新風處理總量為39,500CMH；AHU 10臺,空氣處理總量為616,000CMH.
每個車間均為獨立空調系統.凈化空調機組AHU將從室內抽回的回風與新風機組PAHU處理過的新風混合,經過濾、冷卻、加濕等處理后,送至潔凈室天花板上的空間,再與由回風技術夾墻回到天花板上的室內空氣混合經 FFU送到室內.生產設備的局部排風由排風機排至室外.
潔凈室氣流組織為上送下回單向流,天花上基本滿布FFU送風,地板采用開孔率為18％的架空地板,部分地板有調節閥,以調節氣流的流型.
5、1,000級更衣室和小清洗房
這些輔助潔凈車間采用AHU加末端高效過濾器的空調方式.在空調送風量由冷負荷和焓差的計算值小于由換氣次數的計算值很多時,采用二次回風,以便潔凈室的溫、濕度控制,同時減小空調機組的初投資.
6、空氣處理
潔凈室的新風經PAHU的初、中效過濾后,再經冷卻盤管處理后送給AHU.冷卻盤管的冷卻功能在新風需除濕時由中央冷源提供冷凍水實現.新、回混合風經AHU的過濾、冷卻、加熱、加濕處理：
a．冷卻：由中央冷源提供冷凍水流經AHU盤管實現冷卻功能；
b．過濾：空氣經置于AHU內的初、中效過濾器的過濾,再經末端高效過濾器送至室內.
c．加熱：由裝在送風管中的電熱器實現加熱功能,電熱器在此系統中只起輔助作用.
d．加濕：干蒸汽加濕器通過安裝于送風管中的蒸汽噴管向空氣中加濕.加濕器為電熱式,其供水為RO水.
四、冷源設置和空調水系統
工程中空調面積7,100m2,夏季總計算冷負荷4,560kw.潔凈區冷負荷4,040kw,非潔凈區冷負荷520kw.非潔凈區包括辦公室、鞋柜房、大堂、倉庫等.平均空調面積指標669W／m2.設備樓二樓制冷機房設置 4臺法國 CARRIER 373RT螺桿式冷水機組,型號為30HXC375,冷媒為R134a,冷凍水供回水溫度7℃／12℃,冷凍水泵和冷卻水泵各5臺,均為4用1備,并聯運行.冷凍水泵型號為SPP150／40,每臺流量72L／S；冷卻水泵型號為SPP150／32,每臺流量87L／S.設備樓頂設菱和FT400冷卻水塔4臺,并聯運行.圖4為制冷機房設備平面布置圖.
空調水系統為一次泵變水量水系統,根據系統水量的變化情況控制泵的運行臺數,實現系統經濟運行,同時供、回水主管之間設有壓差旁通控制,保證供、回水壓差的恒定及有足夠的水流過冷水機組的蒸發器.
冷凍水系統主要分兩路,分供一層和二層.水系統采用異程式,膨脹水箱設在局部三層的屋面.冷卻水按常規設置.
五、自動控制系統
工程新風機組風機馬達采用變頻自動控制,在保證衛生的前提下,根據潔凈室靜壓調節變頻器,使潔凈室的靜壓不隨生產設備的排風量的變化而變化,同時起到節能作用.
由于本工程對溫、濕度要求較高,夏季降溫、除濕均由表冷器實現,故采用溫、濕度PID輸出最大值的控制方法.AHU及PAHU的冷凍水量采用等百分比二通電動調節間進行控制.主潔凈室每臺AHU負責的區域較大,所以每臺AHU分別配 2－3個溫、濕度傳感器取平均值進行溫、濕度的自動控制.空調系統的除濕主要由PAHU來完成.
冷凍水系統方面采用負荷控制的方法確定冷水機組及相應的水泵、水塔的開啟臺數.根據設定供、回水壓差自動控制供、回水主管之間壓差旁通閥.
AHU回風管內設煙感探測器,在有火災的情況下煙感探測器將信號傳給DDC,DDC會發出指令停AHU的風機馬達,以防火災的蔓延.另一方面,消防系統給一對干節點串聯到AHU配電箱的控制電路中,在該區有火災信號時,該節點自動斷開,AHU的風機將停止運行.這樣,在火災情況停風機這方面有雙重保險.
