一、凈化車間的規格
凈化車間的規格一般適用于美國聯邦規格No.209B。這個規格對凈化間的環境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內壓等都進行了規格化規定。但是,伴隨著潔凈化程度的不斷提高,美國聯邦規格進行了改版,其內容主要是以潔凈度進行分類。最新版已成為No209E,名稱也進行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數為10x個/m3,把X表示成級別,同時加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國聯邦規格No.209B,表8表示的是美國聯邦規格No.209E。在日本,相應的規格是JIS B9920。JIS9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數規定為10的x立方個,用Y表示級別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級別的主要內容。
表7 美國聯邦規格No.209B
凈化間級別
粒子
室內壓力Pa
mmH2O
溫度
濕度
氣流
換氣次數
照度
粒徑
um
累計粒子數
范圍
(℃)
推薦值(℃)
差
(℃)
高
(%)
最低
%
誤差
%
100
1000
10000
100000
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
100
1000
10
10000
65
100000
700
+13
(+1.3)
以上
19.4—
25
22.2
±2.8
特別時為±1.4
45
30
±10
特別時為±5
層流方式
0.45m/s
±0.1m/s
非層流方式
≥20次/h
1080--1620
表8 美國聯邦規格No.209E的潔凈度級別分類
級別上限值是各級別名。上限值用指定粒徑以上的濃度(單位堆積粒子數)表示。*
級別名稱**
級別上限值
粒徑
0.1um
粒徑
0.2um
粒徑
0.3um
粒徑
0.5um
粒徑
5um
SI***
English
Unit
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
MI
M1.5
M2
M2.5
M3
M3.5
M4
M4.5
M5
M5.5
M6
M6.5
M7
1
10
100
1000
10000
100000
350
1240
3500
12000
35000
--
--
--
--
--
--
--
--
9.91
35.0
99.1
350
991
--
--
--
--
--
--
--
--
75.7
265
757
2650
7570
26500
75700
--
--
--
--
--
--
2.14
7.50
21.4
75.0
214
750
2140
--
--
--
--
--
--
30.9
106
309
1060
3090
10600
30900
--
--
--
--
--
--
0.875
3.00
8.75
30.0
87.5
300
875
--
--
--
--
--
--
10.0
35.3
100
353
1000
3530
10000 35300
100000
353000
1000000
3530000
10000000
0.283
1.00
2.83
10.0
28.3
100
283
1000
2380
10000
28300
100000
283000
--
--
--
--
--
--
--
247
618
2470
6180
24700
61800
--
--
--
--
--
--
--
7.00
17.5
70.0
175
700
1750
*上表中表示的級別上限值僅僅是為了級別分類而定義的,并不表示實際的粒徑分布值。
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粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI單位里的級別名稱,D :粒徑(um)
***國際單位(Systeme International d’Unites的縮寫)
圖1,209E的潔凈度級別(圖略)圖中的●標記表示評價潔凈度級別用的對象粒子。
()內數值是用English unit表示級別。
圖2,JIS B 9920的潔凈度級別的上限濃度
表9,JIS B 9920主要內容 香港理财婆169292-理财婆169292一波四码-理财婆169292一肖一码-理财婆169292网站彩民一码-169292理财婆绿色关爱公益
表10,美國航空宇宙局規格主要內容
生物凈化間級別
粒子
生物粒子
室內
壓力
Pa
mmH2O
溫度℃
濕度
%
氣流
換氣次數
照度
Lx
粒徑
um
累計
粒子數
個/ft
(個/l)
浮游量
個/ft
(個/l)
沉降量
100
10000
100000
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5
100
(3.5)
10000
(350)
65(2.3)
100000
(3500)
700(25)
0.1
(0.0035)
0.5
(0.0176)
2.5
(0.0884)
1200
(12900)
6000
(64000)
30000
(323000)
+13
(+1.3)
以上
推
薦
值
40
—
50
層流方式
0.45m/s
±0.1m/s
非層流式
≥20次/h
1080—
1620
二、不同用途所要求的潔凈度