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凈化車間潔凈度級別如何確定及計算分析


一、凈化車間的規格

凈化車間的規格一般適用于美國聯邦規格No.209B。這個規格對凈化間的環境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內壓等都進行了規格化規定。但是,伴隨著潔凈化程度的不斷提高,美國聯邦規格進行了改版,其內容主要是以潔凈度進行分類。最新版已成為No209E,名稱也進行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數為10x個/m3,把X表示成級別,同時加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國聯邦規格No.209B,表8表示的是美國聯邦規格No.209E。在日本,相應的規格是JIS B9920。JIS9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數規定為10的x立方個,用Y表示級別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級別的主要內容。

 

凈化車間潔凈度

 

表7  美國聯邦規格No.209B

凈化間級別

 

粒子

 

室內壓力Pa

mmH2O

 

溫度

 

濕度

 

氣流

換氣次數

 

照度

 

粒徑

um

 

累計粒子數

 

范圍

(℃)

 

推薦值(℃)

 

(℃)

 

(%)

 

最低

%

 

誤差

%

 

100

 

1000

 

10000

 

100000

 

0.5  

 

0.5

5

0.5

5

0.5

5

 

100

 

1000

10

10000

65

100000

700

 

+13

(+1.3)

以上

 

19.4—

25

 

22.2

 

 

 

±2.8

特別時為±1.4

 

45

 

30

 

 

 

±10

特別時為±5

 

 

層流方式

0.45m/s

±0.1m/s

非層流方式

20次/h

 

 

1080--1620

 

 

 

表8  美國聯邦規格No.209E的潔凈度級別分類

級別上限值是各級別名。上限值用指定粒徑以上的濃度(單位堆積粒子數)表示。*

級別名稱**

 

級別上限值

 

粒徑

0.1um

 

粒徑

0.2um

 

粒徑

0.3um

 

粒徑

0.5um

 

粒徑

5um

 

SI***

 

English

Unit

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

(m3)

 

(ft3)

 

MI

M1.5   

M2

M2.5

M3

M3.5

M4

M4.5

M5

M5.5

M6

M6.5

M7

 

 

1

 

10

 

100

 

1000

 

10000

 

100000

 

350

1240

3500

12000 

35000  

--

--

--

--

--

--

--

--

 

9.91

35.0

99.1  

350

991

--

--

--

--

--

--

--

--

 

75.7

265

757

2650

7570

26500  

75700

--

--

--

--

--

--

 

2.14

7.50

21.4

75.0

214

750   

2140

--

--

--

--

--

--

 

30.9

106

309

1060

3090

10600  

30900

--

--

--

--

--

--

 

0.875

3.00   

8.75

30.0

87.5

300

875

--

--

--

--

--

--

 

10.0

35.3

100

353

1000

3530

10000  35300 

100000

353000

1000000

3530000

10000000

 

0.283

1.00

2.83

10.0

28.3

100

283

1000

2380

10000

28300

100000  

283000

 

--

--

--

--

--

--

--

247

618

2470

6180

24700  

61800

 

--

--

--

--

--

--

--

7.00

17.5

70.0

175

700

1750  

 

*上表中表示的級別上限值僅僅是為了級別分類而定義的,并不表示實際的粒徑分布值。

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粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI單位里的級別名稱,D :粒徑(um)

***國際單位(Systeme International d’Unites的縮寫)

 

圖1,209E的潔凈度級別(圖略)圖中的●標記表示評價潔凈度級別用的對象粒子。

()內數值是用English unit表示級別。

圖2,JIS B 9920的潔凈度級別的上限濃度

 

表9,JIS B 9920主要內容    香港理财婆169292-理财婆169292一波四码-理财婆169292一肖一码-理财婆169292网站彩民一码-169292理财婆绿色关爱公益     

 

凈化間級別表

 

 

表10,美國航空宇宙局規格主要內容

生物凈化間級別

 

粒子

 

生物粒子

 

室內

壓力

Pa

mmH2O

 

 

溫度℃ 

 

濕度

%

 

氣流

換氣次數

 

 

照度

Lx

 

粒徑

um

 

累計

粒子數

個/ft

(個/l)

 

浮游量

個/ft

(個/l)

 

沉降量

 

 

100

 

10000

 

 

 

100000

 

≥0.5

 

 

≥0.5

 

≥5

 

≥0.5    

 

≥5

 

100

(3.5)

 

10000

(350)

65(2.3)

 

100000

(3500)

700(25)

 

0.1

(0.0035)

 

0.5

(0.0176)

 

 

2.5

(0.0884)

 

1200

(12900)

 

6000

(64000)

 

 

30000

(323000)

 

 

 

+13

(+1.3)

以上

 

 

 

 

 

 

40

—   

50

 

 

 

層流方式

0.45m/s

±0.1m/s

非層流式

≥20次/h

 

1080—

1620

 

 

二、不同用途所要求的潔凈度
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